我从1960年进上海交通大学预科学习，1968年上海交通大学船舶動力系本科毕业，分配在中船总442厂，1985年回到母校工作，是上海交通大学微纳科学技术研究院教授（二级），博士生导师，曾任校学术委员会委员，院学术委员会主任，院职务聘任委员会主任，享受国务院特殊津贴。长期从事微电子机械系统（MEMS）、精密仪器、光机电一体化研究。曾获国家技术发明二等奖2项，省部一等奖5项，二等奖8项，授权国家发明专利100余项，在国内外杂志发表论文200余篇，出版了《非硅MEMS技术及其应用》等专著5本，已培养博士和硕士研究生70余名。2011,2013,2015年三次被提名为中国工程院院士候选人。在将近50年的工作生涯中作出了一定的成绩，这里包含了母校及老师在长期的学习和工作中对我的教育和培养，成绩属于母校，衷心感谢母校和各位老师。
